臭氧消毒法具有广谱、高效、无残留的特点，因此可以用于对臭氧敏感的金属器械进行长期浸泡消毒，不会造成器械腐蚀。

臭氧具有强氧化性，虽然消毒效果好，但对金属有腐蚀作用，特别是对银、铜等金属。因此，不宜用于对臭氧敏感或易被氧化的金属器械的长期浸泡消毒。